數百年來，大家一直用顯微鏡觀查外部經濟和探尋雙眼看不見的全球，與十九世紀的光學顯微鏡對比，如今大家應用的一般顯微鏡作用多、自動化技術水平高、變大倍率高。顯微鏡早已做到了屏幕分辨率的極限，針對應用能見光做為燈源的光學顯微鏡，它的屏幕分辨率只有做到微波的半光波長上下，它的屏幕分辨率極限是0.2^，一切低于0.2pLm的構造都無法鑒別出去，使人們的探尋遭受了限定。因而，提升光學顯微鏡屏幕分辨率的方式之一是想方設法減少可見光波長。

進到二十世紀，光電子技術獲得了長久的發(fā)展趨勢，選用離子束來替代僅是非常好的想法。依據德布羅意的物質波基礎理論，健身運動的電子器件具備不確定性，并且速率越快，它的“光波長”越少。假如可以把電子器件的速率加到充足快，而且聚集它，有可能用于變大物件。當電子器件的速率加到很高時，透射電鏡的屏幕分辨率能夠 做到納米(10-8m)，使許多在能見光下看不到的物件在透射電鏡下呈現了原型。因而，透射電鏡是二十世紀*關鍵的創(chuàng)造發(fā)明之一兇。

1947年法國技術工程師MaxKnoU和ErnstRuska生產制造出了全世界*臺散射透射電鏡，散射電子顯微術是運用透過塑料薄膜試件的離子束開展顯像或微區(qū)剖析的一種電子顯微術。可得到 高寬比部分化的信息內容，是剖析分子結構、結晶不一致性、微區(qū)成份的綜合性技術性。

1952年美國技術工程師生產制造岀了*臺掃描儀透射電鏡(SEM)O掃描儀電子顯微術離子束以光纖傳感器狀方法直射試件表層，剖析出射電子器件和試件表層化學物質相互影響造成的各種各樣信息內容來科學研究試件表層微區(qū)外貌、成份和晶體學特性的一種電子顯微技術性。

1983年IBM企業(yè)蘇黎世試驗室的倆位生物學家創(chuàng)造發(fā)明了說白了的掃描儀隧道施工光學顯微鏡。這類光學顯微鏡比透射電鏡更超前的，它徹底失去傳統(tǒng)式光學顯微鏡的定義。隧道施工掃描儀顯微鏡術是運用量子科技隧道效應的表層科學研究技術性。能即時、原點觀查試品*表層的局域網構造信息內容，能做到彈性散射的高像素⑴。它沒有攝像鏡頭，應用一根探頭，探頭和物件中間再加工作電壓。假如探頭間距物件表層靠近，大概在納米的間距上，隧道效應*會起功效。電子器件會越過物件與探頭中間的間隙，產生一股很弱的電流量。假如探頭與物件的間距產生變化，這股電流量也會相對更改。那樣，根據精確測量電流量大家*能了解物件表層的樣子，屏幕分辨率能夠 做到單獨分子的級別。透射電鏡的屏幕分辨率已做到0.l~0.3nm,即與金屬材料點陣式中分子間隔非常。

幾十年來，伴隨著新式透射電鏡的面世，產生了散射透射電鏡(TEM)、掃描儀透射電鏡(SEM)、原子力光學顯微鏡(AFM)、掃描儀隧道施工光學顯微鏡(STM)、場正離子光學顯微鏡(FTM)、掃描儀激光器聲成像顯微鏡(SPAM)等透射電鏡大家族。并在EBSD、探頭、激光器探頭、俄歇能譜儀等表層剖析技術性的相互配合下，使金相檢驗技術性發(fā)展趨勢到一個新的環(huán)節(jié)。電子器件金相分析技術性可對金屬復合材料的斷裂面外貌、組織架構及其微區(qū)成分等開展綜合分析與測量,從而對金屬復合材料以及產品工件的質量管理、失靈說明、新型材料與加工工藝的研發(fā)等充分發(fā)揮著十分關鍵的功效。